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NTIS 바로가기본 연구에서는 SiO2 버퍼 층과 high-k 물질과의 산소 밀도 차이로 인해 형성된 interfacial dipole이 플랫밴드 전압에 미치는 영향을 확인하기 위해 SiO2 형성 조건에 따른 연구들을 진행하였다. 먼저 SiO2 산화 방법에 따른 계면 및 전기적 특성을 비교하였다. H2O2 ...
저자 | 윤혜원 |
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학위수여기관 | 단국대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 에너지공학과 에너지소재전공 |
지도교수 | 김우병 |
발행연도 | 2020 |
총페이지 | vii, 85 장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15654315&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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