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NTIS 바로가기산업이 고도화되고 반도체 공정이 발전됨에 따라 반도체 공정이 미세화되고 있다. 고품질의 박막특성을 얻기 위해 반도체, 디스플레이 공정이 진행되는 진공챔버 내부의 청결 정도가 매우 중요하며 이를 위해 원격 플라즈마 발생 장치를 사용한 세정공정을 진행한다. 이때, 플라즈마를 통해 Radical을 발생시키고 진공 챔버 내부에 유입시킴으로써 공정진행 후 세정공정 단계에서 진공챔버 내에 남아 있는 불순물을 환원시키고 배출하여 반도체 미세공정과 고품질의 박막특성을 가능하게 하는 원격 플라즈마 발생 장치(...
저자 | 임은석 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전기공학과 |
지도교수 | 정진욱 |
발행연도 | 2021 |
총페이지 | v, 43 p. |
키워드 | 전기공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15751033&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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