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현재까지 반도체 공정에 적용할 수 있는 99.99999%(7N) 이상의 고순도의 전자급 CO2를 분리해 내는 연구 결과가 발표된 바 없다.
본 연구 결과에 따르면 이러한 고순도 전자급의 CO2를 분리해 내기 위해서는 냉동사이클을 활용한 단순액화 공정으로는 불가능하다는 것이 연구 결과 밝혀졌다. 다만 순도 98% 이상의 공업용 CO2를 분리할 수 있다.
그러나 심냉 증류 공정을 통해서는 7N 이상의 고순도 전자급 CO2를 분리해 낼 수 있음이 ...
저자 | 박일수 |
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학위수여기관 | 공주대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 화학공학과 |
지도교수 | 조정호 |
발행연도 | 2023 |
총페이지 | ⅺ, 215 p. |
키워드 | 전자급 고순도 이산화탄소 전산모사 심냉증류 냉동사이클 혼합성분 냉매 이단 압축 공정 최적화 LNG 냉열 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T16823732&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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