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NTIS 바로가기전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers, v.28 no.9, 1979년, pp.3 - 9
주웅길 (한국과학원 재료공학과) , 고경신 (중앙대공대 물리대 화학과)
본고에서는 첫째 과정인 화학적 방법에 의한 고순도 silicon을 얻는 방법을 중점적으로 다루기로 하고 silicon 단결정을 만드는 과정들과 silicon process technology에 대한 방법들에 대해서는 속편에 싣기로한다.
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