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NTIS 바로가기産業技術硏究 : 江原大學校 産業技術硏究所 = Journal of industrial technology, v.5, 1985년, pp.73 - 79
Thermodynamic calculation for the CVD of SiC from methyltrichlorosilane(MTS) was done in some range of deposition condition to identify optimum condition. The results show that the most considerable chemical species are chloride and chlorosilane for silicon source and methane and acetylene for carbo...
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