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NTIS 바로가기産業技術硏究 : 江原大學校 産業技術硏究所 = Journal of industrial technology, v.8, 1988년, pp.23 - 30
박찬원 (공과대학 전기공학과) , 김복헌 (전기공학과 대학원)
In this paper, the characteristics of electrical breakdown and TDDR (Time Dependant Dielectric Breakdown) were studied to evaluate stability and reliability of thin insulator films such as oxide and nitride. As the oxide film thickness decreased, the electrical breakdown field was increased proporti...
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