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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.2 no.3, 1992년, pp.228 - 238
박대규 (현대전자(주)반도체연구소) , 김정태 (현대전자(주)반도체연구소) , 고철기 (현대전자(주)반도체연구소)
서브마이크론 설계규칙을 갖는 소자의 이층 배선 공정에서 다챔버 장비를 이용한 금속 층간절연막의 공극없는 평탄화를 위하여 PECVD와
An investigation on the step-coverage of PECVD and
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