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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.3 no.5, 1993년, pp.466 - 475
이종무 (인하대학교 금속공학과) , 권난영 (인하대학교 금속공학과) , 손재현 (서울대학교 무기재료공학과) , 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
Adhesion of W to TiN which is used as a glue layer in the blanket tungsten process has been investigated using the pulling and scratch methods and analysed using surface roughness measurements by SEM and the reflectivity measurement, the stress measurement and the SIMS depth profiling Significant d...
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