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화학증착법에 의한 Tungsten 박막의 제조에 관한 연구(Ⅱ)
The Study on the Tungsten Films Prepared by the Low Pressure Chemical Vapor Deposition(II) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 천성순
참여연구자 박종욱 , 박영욱 , 강창진 , 김용천 , 김동원
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1990-05
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200002962
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 저압화학증착법.텅스텐박막.제한두께현상.박막응력.화학증착반응기구.전기비저항.미세공공.화학증착속도식.LPCVD.Tungsten film.Self limiting thickness.Film stress deposition mechanism.Resistivity.Pore.Deposition rate.

초록 ▼

실리콘 환원반응에 의한 텅스텐 화학증착의 제한두께현상은 wF의 Polymerizing network 형성에 의한 Blocking에 의해 발생되며, 종착된 박막의 전개저항은 40-11μΩ-cm의 값을 갖는다. 수소 환원과 SiH₄환원반응에 의해 각각 증착된 증착층은 미세한 Pore를 갖고있으며, 인장응력을 갖고있다. 증착총의 전기저항은 10μΩ-cm정도이며 이 저항값은 두께의 감소에 따라 증가한다. SiH₄환원반응시 SiH₄/wF(low 6)의 입력비는 결정구조와 응력 및 전기저항에 큰 영향을 미친다. 수소환원반응에서의 화학증착속도는

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...20
  • 제 2 장 문헌조사...23
  • 제 1 절 Metallization재료의 종류 및 특성...23
  • 제 2 절 텅스텐박막의 특성...26
  • 제 3 절 텅스텐박막의 화학증착기구...26
  • 제 4 절 LPCVD-W 의 선택증착반응...28
  • 제 5 절 LPCVD-W 의 초고집적회로에의 활용성...30
  • 제 3 장 실험방법...34
  • 제 1 절 시편준비...34
  • 제 2 절 저압화학증착장비...34
  • 제 3 절 화학증착실험순서...36
  • 제 4 절 박막의 물성측정...36
  • 제 4 장 실험결과 및 고찰...39
  • 제 1 절 실리콘 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착...39
  • 1-1. 증착된 tungsten박막의 성분조사...39
  • 1-2. 제한 두께 현상에 대한 고찰...48
  • 1-3. 실리콘환원에 의해 증착된 텅스텐박막의 전기저항...51
  • 제 2 절 수소환원에 의한 텅스텐박막의 화학증착...53
  • 2-1. 수소환원에 의해 증착된 텅스텐박막의 미세구조...53
  • 2-2. 증착층의 잔류응력...53
  • 2-3. 수소환원에 의한 텅스텐증착의 화학반응기구...57
  • 2-3-1. $WF_6$의 분압이 tungsten화학증착반응에 미치는 영향...57
  • 2-3-2. $H_2$의 분압이 tungsten화학증착반응에 미치는 영향...57
  • 2-3-3. 실험적 화학증착 속도식...60
  • 2-3-4. 이론적 화학증착 속도식의 유도...60
  • 2-4. 화학증착된 tungsten박막의 전기저항...67
  • 2-4-1. 증착시간이 tungsten박막의 전기저항에 미치는 영향...67
  • 2-4-2. 증착온도와 $H_2/WF_6$입력비가 증착된 tungsten박막의 전기저항값에 미치는 영향...74
  • 제 3 절 $SiH_4$ 환원반응에 의한 텅스텐박막의 화학증착...77
  • 3-1. 증착층의 성분 및 결정구조 분석...77
  • 3-2. 증착증의 미세구조...80
  • 3-3. 증착층의 잔류응력...82
  • 3-4. $SiH_4$ 환원에 의한 텅스텐화학증착의 화학반응기구...87
  • 3-5. $SiH_4$ 환원에 의해 증착된 텅스텐박막의 전기저항...99
  • 3-5-1. $SiH_4/WF_6$ 입력비가 전기저항에 미치는 영향...99
  • 3-5-2. 증착온도가 전기저항에 미치는 영향...101
  • 제 5 장 결론...104
  • 참고문헌...107
  • 부록 : 표면반응 속도식의 유도...111

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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