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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A, v.31A no.8, 1994년, pp.80 - 90
최동영 (건국대학교 전자공학과) , 이성욱 (건국대학교 전자공학과) , 주정규 (건국대학교 전자공학과) , 강명구 (건국대학교 전자공학과) , 윤석범 (건국대학교 전자공학과) , 오환술 (건국대학교 전자공학과)
The ultra shallow junction was formed by 2-step RTP. Phosphorus solid source(P
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