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NTIS 바로가기空氣 調和·冷凍 工學 論文集 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, v.7 no.3, 1995년, pp.521 - 527
배귀남 (한국과학기술연구원 기전연구부) , 이춘식 (한국과학기술연구원 기전연구부) , 박승오 (한국과학기술원 항공우주공학과) , 안강호 (한양대학교 기계공학과)
The average particle deposition velocity toward a vertical wafer surface in a vertical airflow chamber was measured by a wafer surface scanner(PMS Model SAS-3600). Polystyrene latex(PSL) spheres with diameters between 0.3 and
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