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NTIS 바로가기한국시뮬레이션학회논문지 = Journal of the Korea Society for Simulation, v.12 no.3, 2003년, pp.13 - 20
김상진 (성균관대학교 정보통신공학부) , 한영신 (성균관대학교 정보통신공학부) , 이칠기 (성균관대학교 정보통신공학부)
Semiconductor Manufacturing has emerged as one of the most important world industries. Even with the highly automated and precisely monitored facilities used to process the complex manufacturing steps in a near particle free environment, processing variations in wafer fabrication still exist. The ca...
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