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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.7 no.3, 1996년, pp.287 - 294
김병성 (광운대학교 전자통신공학과 신기술연구소) , 정영철 (광운대학교 전자통신공학과 신기술연구소) , 변영태 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) , 박경현 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) , 김선호 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) , 임동건 (고려대학교 물리학과)
An optical phase modulator is fabricated in GaAs/AlGaAs doble heterostructure wafer grown by MOCVD. A self-aligned process, in which the same photoresist pattern is used for both the waveguide etching and the insulation layer formation, is developed and is found to be very useful, Fabry-Perot interf...
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