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사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구
A Study on the Growth of ZnO Thin Films Deposited on the Sapphire Sustrates 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.6 no.3, 1996년, pp.341 - 346  

이용의 (서울대 무기재료공학과) ,  김형준 (서울대 무기재료공학과) ,  양형국 (전자부품종합기술연구소) ,  박종철 (전자부품종합기술연구소) ,  김유택 (경기대학교 재료공학과) ,  김영진 (경기대학교 재료공학과)

초록
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R-sapphire 기판위에 rf magnetron 스퍼터 방법으로 ZnO 박막을 증착하여 박막의 증착변수에 따른 결정성장방향과 SAW 특성을 분석하였다. 증착온도, 압력, rf 전력에 의해 박막 성장면이 (002)에서 (110)으로의 전이가 관찰되었다. 5mTorr, 40$0^{\circ}C$, 250W의 rf 전력에서 가장 우수한 (110)방향의 에피 ZnO 압전 박막의 SAW 특성을 분석하기 위하여 제작된 마스크를 사용하여 IDT를 구성한 후 SAW 특성을 분석한 결과 h/λ=0.08의 조건에서 전단속도가 약 5232m/s로서 고주파용 SAW 필터의 제조에 적합한 특성을 보이고 있다.

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