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초록

현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.

저자의 다른 논문

참고문헌 (10)

  1. R&D용 고성능 LPCVD 장비 개발 , ETRI , 과기처 특정연구 개발사업 최종보고서 / v.,pp., 1986
  2. 반도체 장비 개발 및 공정 DB 확립 , ETRI , 과기처 특정연구 개발사업 최종보고서 / v.,pp., 1987
  3. Techware System Corporation , Control Vision Software Reference Manual / v.,pp., 1993
  4. Techware System Corporation , TC-Ⅲ Hardware Reference Manual / v.,pp., 1993
  5. Equipment Automation/Software & Hardware , SEMI International Standard / v.,pp., 1995
  6. 반도체 공정의 생산 및 공정관리 시스템 개발 , 염봉진(외 5명) , 과기처 특정연구 개발사업 최종 보고서 / v.,pp., 1995
  7. 반도체 장비용 공정제어기 설계 , 유준(외 8명) , 충남대학교 공과대학 국책사업 과제 년차보고서 / v.,pp., 1996
  8. 아라전자 , VxWorks Real-Time Operation System / v.,pp., 1994
  9. Integrated Computer Solution Inc. , The Builder Xcessory User's Guide / v.,pp., 1994
  10. Prentice Hall , Internetworking with TCP/IP / v.,pp., 1995

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