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NTIS 바로가기제어·자동화·시스템공학회지 = ICASE magazine, v.3 no.2, 1997년, pp.6 - 12
유준 (충남대학교 전자공학과) , 김재형 (충남대학교 전자공학과) , 송태승 (충남대학교 전자공학과) , 장종태 (충남대학교 전자공학과) , 정기로 (코닉 시스템㈜)
현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.
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