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NTIS 바로가기요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.34 no.3 = no.178, 1997년, pp.314 - 322
현상훈 (연세대학교 세라믹공학과) , 김중정 (연세대학교 세라믹공학과) , 김동준 (연세대학교 세라믹공학과) , 조문호 (연세대학교 세라믹공학과) , 박형호 (연세대학교 세라믹공학과)
The thin film processing and the applicability as a IMD material of SiO2 aerogels providing ultralow dielec-tric properties were studied. The SiO2 aerogel films with 0.5g/㎤ density (78% porosity) and 4000~21000
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