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MPECVD 다이아몬드 박막의 표면 형상에 미치는 증착조건의 영향
Effect of Deposition Conditions on the Morphology of MPECVD Diamond Thin Films 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.7 no.5, 1997년, pp.365 - 373  

최지환 (한양대학교 금속공학과) ,  이세현 (한양대학교 금속공학과) ,  이유기 (한양대학교 금속공학과) ,  박정일 (국립기술품질원 무기화학과) ,  이은아 (국립기술품질원 무기화학과) ,  박광자 (국립기술품질원 무기화학과) ,  박종완 (한양대학교 금속공학과)

초록
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다이아몬드 형성에 미치는 MPECVD 증착조건에 관하여 연구하였다. 증착 실험 기판은 Si p-type (100)wafer를 사용하였으며 다이아몬드 박막은 다음과 같은 조건하에서 증착되었다. 메탄 농도:0.75%(3scm)-3%(12scm),산소 농도:0%-0.5%(2scm), 반응 압력:20torr-80torr, 반응 온도:$600^{\circ}C$-90$0^{\circ}C$. 낮은 증착온도($600^{\circ}C$)에서는 (100)의 우선성장면을 보였고 온도가 증가함에 따라 (100)과 (111)이 혼재된 cubo-octahedron이 형성되었고 90$0^{\circ}C$에서는 (111)의 우선성장면을 가징 octahedron이 형성되었다. 산소가 첨가됨에 따라 높은 메탄농도에서도 양질의 다이아몬드가 형성되었다. 낮은 압력하(200torr)에서는 비정질탄소가, 높은 압력하(80torr)에서는 양질의 다이아몬드가 형성되었다.

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