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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.9 no.3, 1998년, pp.146 - 150
박정보 (서울대학교 물리교육과) , 김기호 (서울대학교 물리학과) , 이성묵 (서울대학교 물리학과)
To enhance the resolution and the depth of focus of the patterns whose size reaches the optical resolution limits, the various imaging methods are being tried. Generally in the linear polarization illumination methods, the contrast gap exists between TE mode TM mode according to the pattern directio...
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