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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.11 no.10, 1998년, pp.809 - 814
이병수 (인하대학교 공대 전기공학과) , 이상희 (인하대학교 공대 전기공학과) , 박상현 (경남대학교 공대 전기고학과) , 유동현 (안산공업전문대학) , 이백수 (인하대학교 공대 전기공학과) , 이덕출 (안산공업전문대학 전기과)
In this study, the metastable state diamond thin films have been deposited on Si substrates from methand-hydrogen and oxygen mixture usin gMicrowave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (MWPCVD) method. effects experimental parameters MWPCVD including methan concentrations, oxygen additions, op...
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