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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.7 no.3, 1998년, pp.248 - 254
조재원 (광운대학교 전자물리학과) , 김태환 (광운대학교 전자물리학과) , 김대욱 (선문대학교 물리학과) , 최성수 (선문대학교 물리학과)
DLC(Diamond-Like-Carbon) thin film, one of the solid state amorphous carbon films, has been deposited by the method of PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). The structural features have been characterized using both FT-IR Spectroscopy and Raman Scattering. The film is considered to cons...
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