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병렬 안테나에 따른 플라즈마원의 균일도 연구
Study on the Uniformity of Plasma Density at TCP Using Parallel Antennas 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.7 no.3, 1998년, pp.273 - 276  

배근희 (한국과학기술원 물리학과) ,  서상훈 (한국과학기술원 물리학과) ,  장홍영 (한국과학기술원 물리학과)

초록
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안테나에 따른 플라즈마 밀도의 균일도 연구를 위해 병렬 안테나를 설계하고 이중 랑뮤어 탐침과 자기장 측정 탐침을 이용하여 각각의 플라즈마 밀도와 자기장의 세기를 측정 하였다. 나비형 안테나를 사용했을 때 플라즈마 밀도가 ~$2\times10^{11}(\textrmcm^{-3})$로 다른 두 안테나를 사용했을 때보다 높았으며, 전자의 온도는 2eV 이하로 동일한 조건에서의 나선형 안테나보 다 낮게 나왔다. 또 전류의 방향이 서로 다른 두 개의 안테나선이 가까이 있거나 안테나 성 분끼리 양성 결합(positive coupling)을 하는 경우에는 동력 효율(power efficiency)이 매우 낮아졌다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Three different parallel antennas are designed to investigate plasma uniformity and magnetic field using a double Langmuir probe and a magnetic probe. Butterfly antenna has the highest density of ~~$2\times10^{11}(\textrmcm^{-3})$ among the three antennas and has electron temperature less...

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