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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.15 no.6 = no.87, 1998년, pp.116 - 123
박성림 (한국과학기술원 기계공학과 대학원) , 박도민 (한국과학기술원 기계공학과 대학) , 류재욱 (한국과학기술원 기계공학과 대학) , 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과)
An interferometric microscope with an improved lateral resolution is presented. The nanometer resolution XY stage is integrated into standard temporal phase shifting interferometer. The nanometer resolution XY stage is used to position specimen in subpixel of CCD detector, therefore CCD detector's s...
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