[논문]고속 선주사 공초점 레이저 현미경의 개발

고속 선주사 공초점 레이저 현미경의 개발
Development of high-speed line scanning confocal laser microscope (HLS-CLM) 원문보기

한수민 (연세대학교 보건과학대학 의공학과) , 임강빈 (연세대학교 보건과학대학 의공학과) , 박화준 (연세대학교 보건과학대학 의공학과) , 김법민 (연세대학교 보건과학대학 의공학과)

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CCD에서 검출된 이 신호를 frame grabber를 이용하여 영상 획득 장치를 구현했으며, line CCD의 frame rate는 67KHz로 약 60 frame/s(512 pixel by 512 pixel), 약 130 frame/s(512 pixel by 256 pixel)의 실시간 영상을 획득하였다. 본 연구는 이러한 고속, 고해상도 영상 형성 장치 및 방법을 개발 하였고, 그림3의 우측 영상은 깊이차가 3㎛인 미세구조를 본 시스템으로 획득 영상이며, 그림3의 좌측 상단은 획득한 영상으로 삼차원 재구성한 것이고, 좌측 하단은 SEM과 광학 현미경으로 얻은 미세구조 영상이다.

샘플에서 반사된 빛은 점선을 따라 AOD와 PBS> 거쳐 슬릿을 통과한 빛만이 line scan CCD에서 검출된다. CCD에서 검출된 이 신호를 frame grabber를 이용하여 영상 획득 장치를 구현했으며, line CCD의 frame rate는 67KHz로 약 60 frame/s(512 pixel by 512 pixel), 약 130 frame/s(512 pixel by 256 pixel)의 실시간 영상을 획득하였다. 본 연구는 이러한 고속, 고해상도 영상 형성 장치 및 방법을 개발 하였고, 그림3의 우측 영상은 깊이차가 3㎛인 미세구조를 본 시스템으로 획득 영상이며, 그림3의 좌측 상단은 획득한 영상으로 삼차원 재구성한 것이고, 좌측 하단은 SEM과 광학 현미경으로 얻은 미세구조 영상이다.

단점들을 적용.보완하여 그림 1과 같이 HLS-CLM 방식을 제안하고, 그림 2에서 mirror를 사용해 반치폭(FWHM)이 5.67um으로 시스템 성능을 평가하였다.

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