최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.15 no.10 = no.91, 1998년, pp.103 - 112
윤건상 (성균관대학교 기계공학부 대학원) , 최문규 (성균관대학교 기계공학부 대학) , 김훈모 (성균관대학교 기계공학) , 조대호 (성균관대학교 전기ㆍ전자ㆍ컴퓨터공학부) , 이칠기 (성균관대학교 전기ㆍ전자ㆍ컴퓨터공학부)
The evolution of semiconductor manufacturing technology has accelerated the reduction of device dimensions and the increase of integrated circuit density. In order to improve yield within a short turn around time and maintain it at high level, a system that can rapidly determine problematic processi...
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.