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$NO_2$ 가스 감지를 위한 표면탄성파 센서의 제작 및 특성
Fabrication and Characteristics of Surface-Acoustic-Wave Sensors for Detecting $NO_2$ GaS 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.8 no.2, 1999년, pp.108 - 114  

최동한 (청주대학교 전자.정보통신.반도체공학부)

초록
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표면 탄성파 가스센서는 소자의 크기가 작고, 값이 싸며, 가스에 대한 감도가 매우 높고 소자의 신뢰도가 높은 장점을 갖고 있다. 본 연구에서는, $LiTaO_3$ 단결정 압전기판 위에 이중지연선을 갖는 표면 탄성파 $NO_2$ 가스센서를 설계 및 제작하였다. 제조된 IDT의 커패시턴스는 79.3MHz의 주파수에서 326.34pF였다. 임피던스 매칭이 된 IDT의 반사손실은 79.3MHz의 주파수에서 최대인 -16.74dB로 나타났다. SAW 발진기를 성하여 고주파증폭기의 이득을 적절히 조정함으로써 안정된 발진이 이루어짐을 확인하였다. SAW 발진기의 $NO_2$ 가스에 대한 발진주파수의 변이는 28Hz/ppm으로 나타났다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Surface acoustic wave (SAW) device is very attractive for gas sensor applications because of their small size, low cost, high sensitivity, and good reliability. A dual delay line surface acoustic wave $NO_2$ gas sensors have been designed and fabricated on the $LiTaO_3$ piezoel...

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