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[국내논문] $MoO_3$를 첨가한 ZnO 박막 센서의 암모니아 가스 검지 특성
Ammonia Gas Sensing Characteristics of ZnO Based Thin Film Sensor Doped with $MoO_3$ 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.8 no.1, 1999년, pp.24 - 31  

김성우 (부경대학교 전자공학과) ,  최우창 (부경대학교 전자공학과) ,  최혁환 (부경대학교 전자공학과) ,  이명교 (부경대학교 전자공학과) ,  권태하 (부경대학교 전자공학과)

초록
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감도가 우수하고 동작온도가 낮으며 반응속도가 빠른 암모니아 가스 센서를 제작하기 위해 ZnO에 촉매불순물 $MoO_3$의 첨가비와 박막 성장분위기 가스를 변화시키면서 RF 마그네트론 스펏터링 방법으로 박막을 성장하였다. 전기적 안정성을 향상시키기 위해 성장된 박막들을 aging 하여 센서를 제작한 후 암모니아 가스의 검지 특성을 조사하였다. 촉매불순물을 첨가하거나 산소분위기에서 성장된 박막의 경우 감도가 향상되었으며, 이는 표면 캐리어 농도와 전자이동도의 증가를 나타냈다. ZnO에 $MoO_3$를 무게비로 0.875 wt.% 첨가한 박막으로 제작한 센서가 160 ppm의 암모니아 가스 농도와 $300^{\circ}C$의 동작온도에서 70정도의 최대감도를 보였다. 산소분위기에서 $330^{\circ}C$로 72시간 동안 aging한 박막으로 만든 센서는 감도가 57정도로 감소하였으나, 센서의 동작온도가 $250^{\circ}C$로 낮아졌고, 선형성이 좋았으며 더 안정된 특성을 나타냈다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Ammonia gas sensors were fabricated with ZnO-based thin films grown by RF-magnetron sputtering method. The films which were doped with $MoO_3$ catalysts of various weight percents were grown in different sputtering gases to fabricate the sensors with a high sensitivity, low working temper...

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