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고주파 마그네트론 스퍼터법에 의해 제조된 Yttrium Iron Garnet 박막의 미세구조 및 자기적 특성
Microstructure and Magnetic Characteristics of Yttrium Iron Garnet Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputter 원문보기

요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.36 no.3, 1999년, pp.293 - 300  

박명범 (인하대학교 무기 재료공학과) ,  김병진 (인하대학교 무기 재료공학과) ,  조남희 (인하대학교 무기 재료공학과)

초록
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고주파 마그네트론 스퍼터법을 이용한 YIG(yttrium iron garnet)박막 제조시 기판유형, 기판온도, 스퍼터전력, 스퍼터가스 등의 증착변수와 증착후 열처리 조건이 YIG 박막의 결정성, 화학조성, 미세구조 그리고 자기적 특성에 미치는 영향에 대하여 고찰하였다. 75$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서 수행한 증착후 열처리에 의하여 비정질 박막이 결정화되었으며, 특히 GGG(gadolinium gallium garnet)기판 위에 제조된 박막은 강한 (111)우선배향성을 나타냈다. 박막조성은 스퍼터가스 내의 산소분율에 민감하게 영향을 받았으며, 산소분율이 20%인 스퍼터가스를 사용하여 제조된 박막은 Y2.88Fe3.84O12의 조성을 나타내었다. 증착후 열처리 온도가 90$0^{\circ}C$로부터 110$0^{\circ}C$로 증가함에 따라, GGG 기판위의 박막의 표면거칠기는 2.5nm에서 40nm로 증가하였으며, 보자력과 강자성 공명 선폭은 감소하였다.

주제어

#YIG   #Sputter   #GGG   #FMR  

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