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PDP용 수직형 구조의 근접 노광장치 개발
Development of Proximity Exposure System with Vertical Structure for Plasama Display Panel 원문보기

大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.24 no.9 = no.180, 2000년, pp.2371 - 2380  

박정규 (LG기술(연)) ,  정수화 ,  이항부

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, we developed the proximity exposure system with the vertical structure of glass and mask stage to minimize the mask's warp caused by the pull of gravity. This system, which canirradiate the ultra violet through 1440 H 850 $\textrm{mm}^2$ and 1330X 1015 $\textrm{mm}^2$<...

주제어

#근접노광   #수직구조   #간격제어   #정렬 제어   #평행광  

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 짐량이 발생 한다. 따라서 본 연구에서는 대면적의 PDP용 평행광 근접노광장치를 개발하고자 하는 목적을 가지고 있으므로 포토마스크의 처짐량이 작은 수직형 노광장치를 설계한다.
  • 본 논문에서는 포토마스크의 자중에 의한 처짐을 최소화하기 위하여 포토마스크와 기판의 간격제어와 정렬제어 및 자외선 노광시에는 수직형구조로 변형하고 기판을 기판 스테이지에 진공흡착할 경우에는 경사구조를 가지도록 기판 스테이지를 제어하는 평행광 일괄 근접 노광장치의 개발을 목표로 한다. 초고압 수은등의 광선에서 자외선을 추출하여 광세기가 균일하고 평행한 광선을 만드는 기능을 가진 조명광학계의 조사면적은 1440X 1015 [商]으로 설계하여 대각선이 16:9의 60” 급(1440X850 [顽])과 4:3의 60” 급(1330X 1015 [商])의 PDI^ 패턴을 제작할 수 있는 특징을 가지도록 설계한다.
  • 본 연구에서는 PDP의 제조공정에 있어서 가장 핵심적인 노광공정의 필수장비인 수직형 평행광근접 노광장치를 개발하여 향후의 PDP양산에 조기 대응하고자 국산화를 시도하였다. 평행광 노광장치는 LCD의 칼라필터와 PDP의 패널제조에 사용되는 핵심장비로서 도입에 의존하고 있는 것이 현실이나 본 연구에서 평행광 근접 노광장치를 개발함으로써 국산화의 발판을 마련하였다.

가설 설정

  • 각 스테이지계의 운동방정식을 선형화하기 위하여 변화량의 곱과 변화량의 2차항 이후는 무시해도 좋을 만큼 미소하게 변화한다고 가정한다. 식 (10)의 관계식을 사용하여 선형화한 스테이지계의 운동방정식을 표현하면 다음과 같다.
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참고문헌 (10)

  1. Yamada, H., 1998, 'Large Screen Size 50 inch Color Plasma Display,' The Proceeding of Electronic Display Forum 98, pp. 5-54-5-49 

  2. Saegusa, N., 1998, 'A 50 inch AC Hi-Vision Plasma Display Panel,' The Proceeding of Electronic Display Forum 98, pp. 5-60-5-64 

  3. Uchiike, H., 1998, '力ラ-PDP製造裝置の槪要と技術動向,' Clean Technology, 6月號, pp. 37-43 

  4. 笠原滋雄, 1998, 'PDP製造工程におけるフォトリソグラフィ,' 月刊 FPD Intelligence, 6月號, pp. 72-78 

  5. 小林 昭 監修, 1996, '超精密生産技術大系; 第4卷應用技術,' Fuji Techno System, pp. 139-152 

  6. Yamanoto, M., 1996, 'PDP用Proximity 露光裝置,' 月刊 LCD Intelligence, 6月號, pp. 91-94 

  7. Seiwa光學制作所, 1996, 'プラズマ露光裝置(PA-1290AA)' 

  8. Kozuka, T., 外 4人, 1996, '超大型550 ${\times}$ 650mm がラス基板對應プロキシミティ露光製置,', Hitachi DECO. 技報, Vol. 12, pp. 10-15 

  9. Hakuto Co., 1996, '大型露光製置(MAT-5503)' 

  10. Dainppon kaken Co., 1997, '從型露光機(MA-6800). 

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