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NTIS 바로가기주관연구기관 | 디아이티(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-10 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600005515 |
과제고유번호 | 1425089172 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-08-27 |
1장. 기술 개발의 개요
1절. 광배향 노광의 필요성
LCD 공정에서는 액정을 배향하기 위한 Rubbing 공정이 필요하다. 그런데 이Rubbing 공정은 여러 공정 변수들을 미세하게 조절하기 어려운 까닭으로 배향도의 미세 조절이 까다로우며, Rubbing시 정전기가 발생하여 transistor를 파괴하고 먼지의 흡착 및 Scratch의 형성을 유발시키는 등, LCD의 성능 및 생산수율을 저하시키는 문제점을 나타내고 있다.UV를 이용한 광배향 기술은 기존의 물리적인 마찰에 의한 Rubbing 방법 대신 비접촉식 UV광을
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