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X-선 사진 식각 공정(LIGA)의 현황 및 전망
The Present State and Prospect of LIGA Technology 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.17 no.7 = no.112, 2000년, pp.36 - 44  

박순섭 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터) ,  홍성제 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ,  정석원 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ,  조진우 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ,  조남규 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터)

초록
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X-선 사진식각공정(이하 LIGA 기술이라 함)을 이용한 초소형, 초정밀 금형 및 3차원 구조물 제작 가공기술은, 생산기반 기술 중 금형기술 및 가공기술 분야에 해당하는 기술로 포항가속기와 같은 방사선 가속기에서 생성되는 수 보대 파장의 X-선을 이용하는 기술이다. 짧은 파장을 사용하는 연유로, 일반 반도체 공정으로는 실현할 수 없는 높고, 광학적 용도까지 가능한 거울정도의 벽면 거칠기(수백${\AA}$이하)를, 그러면서도 서브 마이크론의 정밀도 (1$\mu\textrm{m}$이하)를 가지는 금형 및 3차원 구조물을 일괄 가공할 수 있는 기술이다.(중략)

주제어

#X-선 사진 식각   #X-선 마스크   #LIGA 가공 기술  

참고문헌 (33)

  1. E.W. Becker, et al., 'Fabrication of micro-structures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic molding (LIGA process),' Micro- electronic Engineering,Vol. 4, pp.35-56 , 1986 

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  2. B. Anderar, W. Ehrfeld, D. Munchmeyer, 'Development of a 10-channel Wavelength division Multiplexer /Demultiplexer fabri- cated by an X-ray micromachining Process,' SP1E, 1014 Micro-optics, pp. 17-24, 1988 

  3. C. Burbaum, et al., 'Fabrication of elect- rostatic microdevices by the LIGA technique ,' Sensor and Materials, Vol.3, No. 2 pp. 75-8, 1991 

  4. H. Harmerning, et al., 'Molding of Three dimensional microstructures by the LIGA process,' Proceedings of Micro Electro Mechanical Systems, pp. 202-207,1992 

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  10. W. Ehrefeld, et al., 'Mask making for synchrotron radiation lithography,' Microelectronics Engineering, pp.463-470, 1986 

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  11. H. Guckel, et al., 'Deep X-ray and UV lithographies for micromechanics,' Proc. IEEE MEMS, pp.118-122, 1990 

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  12. H. Guckel, et al., Proc. of Quebec '93- SPIE International Symposium on Holography, Microstructures, and Laser Technologies, pp. 15-21, 1993 

  13. H. Guckel, et al., 'Processing and Design considerations for High output-large throw Electrostatic, linear microactuator,' 4th International conference on New actuators, Actuators, pp. 105-108, 1994 

  14. T homas Hanemann, et al., 'Photopolymerization and micromolding,' HARMST, 1994 

  15. H. Becker, et al., 'The fabrication of polymer high aspect ratio structures with hot embossing for microfluidic application,' SPIE conference on micro-fluidic device and systems, vol.3877, pp.74-79, 1999 

  16. Y. Hirata, et al., 'Piezoelectric composites for micro ultrasonic transducer realized with deep etch X-ray lithography,' Proc. IEEE MEMS, pp.186-190, 1995 

  17. T. R. Christenson, et al., 'Micro- fabrication of fully dense Rare earth permanent magnets via deep x-ray lithography and hot forging,' HARMST, pp.82-83, 1999 

  18. D. Mass, et al., 'Fabrication of microcomponents using adhesive bonding technique,' Proc. IEEE MEMS, pp.331-336, 1996 

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  19. Li-Wei Pan, et al., 'A flip-chip LIGA assembly technique via electroplating,' HARMST, pp.108-109, 1999 

  20. Tian Yangchao, et al., 'Current status of LIGA technology at NSRL,' HARMST, pp. 128-129, 1999 

  21. Y. Cheng, 'Status of HARMST in Taiwan,' HARMST '99, pp. 126-127, 1999 

  22. 박순섭 외, 'LIGA 기술 개발에 관한 연구,' 산업자원부, 과학기술부, 초소형 정밀기계기술개발 과제 보고서, 1998 

  23. 박순섭 외, 'LlGA 프로세스에 의해 형성된 퍼멀로이 박막의 자기적 특성에 미치는 도금 및 열처리의 자장 효과에 관한 연구,' 추계 금속학회 발표, 1997 

  24. 박순섭 외, 'Ni electro & electroless plating for application to LlGA process,' 제4회 한국 반도체 학술 대회, 1997.2.20. 

  25. 박순섭 외, 'Research on the LlGA process using white beam,' 제10차 방사광 이용자 발표회, 1998.2.11. 

  26. 박순섭 외, 'LIGA 공정으로 제작한 구조물의 정밀도에 관한 연구,' 전기학회 학술회의, 1998.4.11. 

  27. 박순섭 외, '초정밀 가공 기술을 이용한 초다심 광커넥터 개발,' 산업자원부, 과학기술부, 초소형 정밀 기계 기술개발 과제 보고서, 1998 

  28. 박순섭 외 , 'Research on adhesion promotion of PMMA microstructure,' 제11차 방사광 이용자 발표회, 1999.2.4. 

  29. 박순섭 외, ' X-ray 노광 조건이 PMMA 미세 구조물의 밀착력에 미치는 영향,' 제1회 MEMS symposium ,1999.4.17. 

  30. 박순섭 외, 'Graphite sheet를 이용한 X-ray 마스크 제작,' '99 대한 전기학회 하계 학술대회, 1999.7.19. 

  31. 박순섭 외, 'LlGA 공정올 이용한 다심 광커댁터의 제작,' 광자기학술회의, 1999.11.03. 

  32. 박순섭 외, 'PZT sheet를 이 용한 초음파 Transducer Array 제작,' '99 대한 전기 학회 추계 학술대회, 1999.1 1.20. 

  33. 박순섭 외, 'X-ray 식각 공정을 이용한 마이크로렌즈의 제작,' '99 대한 전기학회 추계 학술대회, 1999.11.20. 

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