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Bio-MEMS : MEMS 기술의 의료 및 생물학 응용
Application of Bio-MEMS Technology on Medicine and Biology 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.17 no.7 = no.112, 2000년, pp.45 - 51  

장준근 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ,  정석 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ,  한동철 (서울대학교 전기컴퓨터공학부)

초록
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지난 세기부터 MEMS 제작 기술을 이용하여 만들어진 시스템들을 의학이나 생물학적인 용도로 응용하기 위한 많은 연구가 활발히 이루어져 왔다. 기술적인 측면에서 이러한 연구들은 MEMS 분야의 초창기에 강조되어 온 표면 및 몸체 미세 가공 기술(surface ＆ bulk micromachining)과 같은 미세 구조물 제작 기술의 발전에 힘입은 바 크다. 그러나 MEMS 기술이 점차 발전되어 오면서, 가공 기술이 고도화되고 미세 시스템의 구조가 점차 복잡해짐에 따라, 많은 연구들이 단순한 가공기술을 넘어 미세 시스템을 조립하고 집적화할 수 있는 기술, 접합 (bonding) 기술, 패키징 (packaging) 기술, 3차원 형상의 제작 기술, 실리콘(silicon)이나 유리(glass)가 아닌 다른 재료를 이용한 미세 가공 기술 등의 개발을 중심으로 이루어지고 있다.(중략)

주제어

#체외 진단   #미세 분석 시스템  

참고문헌 (8)

  1. Kovacs, G. T. A., 'Micromachined Transducers Sourcebook,' WCB/McGraw-Hill, 1998 

  2. Stjernstrom, M., Roeraade, J., 'Method for fabrication of microfluidic systems in glass,' J. Micromech. Microeng., 8, 33-38, 1998 

    상세보기 crossref

  3. Proc. of Microdevices for Biomedical Applications, Cambirdge Healthtech Institute, April 19-20, 1999 

  4. Chung, S., Chang, J.K., Han, D.C., 'Development of Thin Metal Film Deposition Process for the INtravascular Catheter,' ASME Int. Mechanical Eng. Congress & Exposition, 65-66, 1999 

  5. Menz, Von W., 'Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete,' Spektrum Der Wissenschaft, Dossier 4, pp. 32-39 

  6. Figeys, D., Pinto, D., 'Lab-on-a-Chip: a Revolution in Biological and Medical Sciences,' Analytical Chemistry, May, 1, pp. 330A-335A, 2000 

  7. Woolley, A.T., Mathies, R.A., 'Ultra-High-Speed DNA Sequencing Using Capillary Electrophoresis Chips,' Analytical Chemistry, Vol. 67, 3676-3680, 1995 

    상세보기 crossref

  8. Fu, Anne Y., Spence, C, Scherer, A., Arnold, F.H., Quake S.R., 'A Microfabricated Fluorescence-activated Cell Sorter,' Nature Biotechnology, Vol. 17, Nov. 1999 

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