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진공증착법으로 제조된 P(VDF/TrFE) 박막의 유전특성
Dielectric Properties of P(VDF/TrFE) Thin Films Prepared by Vapor Deposition Method 원문보기

전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, v.50 no.1, 2001년, pp.1 - 5  

정무영 (인하대 공대 전기공학과) ,  윤종현 (인하대 공대 전기공학과) ,  이선우 (인하대 공대 정기 공학과) ,  박수홍 (인하대 공대 정기공학과(공박)) ,  유도현 (안산공과대 전기과(공박)) ,  이덕출 (인하대 공대 전기공학과(공박))

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

P(VDF/TrFE) copolymer thin films with 70/30 and 80/20 mol% VDF (polyvinylidene fluoride) and TrFE (trifluoroethylene) rates were prepared by using a vapor deposition method, During thin films were prepared, the substrate temperatures were maintained at 30 $^{\circ}C$ and 120 $^{\circ...

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문제 정의

  • 따라서, 본 연구에서는 진공증착법을 사용하여 기존에 사용되던 제조방법의 단점을 보완할 뿐만 아니라, 막두께의 용이한 조절을 얻을 수 있었다. 또한, 기판의 온도를 조절할 수 있게 함으로써, 기존의 제조방법에서 필요한 열처리 공정을 제거하고자 하였다. 기판온도의 변화를 통한 박막의 특성을 조사하기 위해 기판온도를 30 [℃]와 120 [℃]로 고정 하여 박막을 제조하였다.
  • 위의 실험결과롤 바탕으로 큐리전이점과 융점의 기판온도 와 VDF mol%에 대한 영향에 대하여 생각해 보기로 하자.
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참고문헌 (8)

  1. Hari singh Nalwa, 'Ferroelectric Polymer', Marcel Dekker, Inc., pp.1-232, 1995 

  2. Andrew J. Lovinger, T. Furukawa, G.T. Davis, and M.G. Broadhurst, 'Crystallographic changes characterizing the Curie transition in three ferroelectric copolymers of vinylidene fluoroethylene and trifluoroethylene ; 1. As-crystallized samples,' Polymers, Vol. 24, pp.1225-1232, 1983 

  3. K. Omata and H. Ohigashi, 'Temperature dependence of elastic, dielectric, and piezoelectric properties of single crystalline films of vinylidene fluoride trifluoroethylene copolymer,' J. Appl. Phys., Vol. 81, No. 6, pp.1760-2769, 1997 

  4. K.J. Kim and G.B. Kim, 'Curie transition, ferroelectric crystal structure and ferroelectricity of a VDF/TrFE(75/25) copolymer ; 2. The effect of polling on Curie transition and ferroelectric crystal structure,' Polymer, vol. 38, No. 19, pp.4881-4889, 1997 

  5. 松永 孜, 分子機能材料と素子開發, 株式會社 N.D.S, 1994 

  6. R. Gregorio Jr and M.M. Botta, 'Effect of crystallization temperature on the phase transitions of P(VDF.TrFE) copolymers,' J. Polymers Sci., Part B, Polymer Physics, Vol. 33, 1998 

  7. 이선우, 박수홍, 이덕출, '진공증착법에 의해 제조된 PDVF박막의 전기전도현상과 열자격전류에 관한 연구', J. KVS, Vol. 8, No. 3(1), pp.187-193, 1999 

  8. T. Itoh, K. Maeda, H. Shibata, S. Tasaka, M. Hashimoto, 'Molecular structures and percolative phase transition on vinylidene fluoride - trifluoroethylene copolymer crystals,' J. Physical Society of Japan, Vol. 67, No. 4, pp.23-26, 1998 

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