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문제 정의
- 본 논문에서는 자기임피던스 효과를 이용한 자계센서의 작 동원리와 특성. 자기임피던스 센서용 자성체재료, 그리고 최 근의 연구동향 중 하나로 박막을 이용한 자기임피던스 센서에 대하여 설명한다.
- 5 년 후에는 약 30억엔 이상의 매출을 목표로 하여 2000년 12월 아이치 마이크로 인텔리전트 주식회사를 설립하였다. 이 회사 는 자기임피던스 센서의 옹용제품 개발을 목적으로 하고 있다. 그림 6은 이 회사에서 개발한 센서시스템을 나타낸 것이다.
- 자기임피던스 센서에 대한 박막화 연구의 한 예로서 일본동 북대학의 연구그룹의 연구결과를 소개한다. 센서용 박막으로 는 아몰퍼스의 CoZrNb박막을 선택하였고, 스파터링으로 성 막한 후, 잔공 자장 중 열처리를 통하여 연자성의 개선과 함께 이방성을 제어하였다.
가설 설정
- B. 동일한 특성의 센서를 용이하게 제작할 수가 있다. 즉, 재현성이 좋아진다.
- C. 소자를 소형화할 수 있다.
- 구동회로와 함께 집적화가 가능해 진다. E. 대량생산에 적합하다.
- 시료는 박막이나 리본과 같이 충분히 얇아서 반자 계는 시료의 두께방향으로만 존재할 것, 감쇄정수가 충분히 작은 값일 것仏2《1). 자화곤란축으로 여자할 것. 여자자계는 이방성자계에 비하여 충분히 작을 것 등과 같은 가정을 하고 있다.
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