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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.14 no.4, 2001년, pp.328 - 335
이붕주 (인하대학교 전기공학과 기능성박막연구실) , 차성익 (주식회사 아크로센스) , 김철수 (전자부품연구원(KETI)) , 한정인 (전자부품연구원(KETI)) , 김종택 (인하대학교 전기공학과 기능성박막연구실) , 이덕출 (인하대학교 전기공학과 기능성박막연구실)
In this work, we made the precision thin film resistors of NiCr alloy (74wt%Ni-f18wt%Cr-4wt%Al-4wt%Cu) using DC/RF magnetron sputtering method and studied the sheet resistance and TCR(Temperature Coefficient of Resistance) etc... of the Ni-Cr-Al-Cu alloy thin film according to the change by annealin...
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