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NTIS 바로가기한국태양에너지학회 논문집 = Journal of the Korean Solar Energy Society, v.21 no.1, 2001년, pp.1 - 10
이정철 (한국에너지기술연구원) , 강기환 (한국에너지기술연구원) , 김석기 (한국에너지기술연구원) , 윤경훈 (한국에너지기술연구원) , 송진수 (한국에너지기술연구원) , 박이준 (한국에너지기술연구원)
Polycrystalline silicon(poly-Si) films are deposited on low temperature glass substrate by Hot-CVD(HWCVD). The structural properties of the poly-Si films are strongly dependent on the temperature
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