선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
제안 방법
- SAT로부터 출력 된 초음파 화상정보는 자체적으로 개발한 소프트웨어에 입력되어 반도체의 건전성 여부를 평가하며, 결함의 종류에 대한 정보를 PC의 모니터 상에 출력한다.
- 그러므로 본 연구에서는 종전에 작업자의 판단에 의존하던 초음파 평가시스템에 인공지능을 부여함으로서 다양한 결함정보를 유추하여 결함의 패턴을 판단하고, 평가공정을 일원화 또는 표준화시킴으로서 산업현장에서 결함의 발생 방지를 근원적으로 해결하기 위한 공정제어를 제안하였으며, 이러한 제안의 현장적용을 실현하기 위한 정확하고 표준화된 결함의 정보를 작업공정으로 피이드백할 수 있는 반도체 평가 전문가 시스템의 개발에 대하여 SAT (Scanning Acoustic Tomograph)방법을 근간으로 하여 화상처리 및 신경망을 적용하였다.
- 본 연구에서 사용된 반도체 결함의 패턴 분류기로는 다층 퍼셉 트론의 일종인 역전파 신경망을 적용하였으며, 입력층과 출력층 사이에 은닉층이 존재하며 Fig. 6와 같은 계층구조를 갖는다
- 본 연구에서 화상 단순화 처리의 과정을 화상처리와 자기조직화 지도라는 2가지 방법을 적용하였으며 자체적으로 역전파 신경망을 적용하여 개발한 반도체 결함 평가 소프트웨어에 입력하여 결함평가시험을 수행하였다.
- 본 연구에서는 은닉층과 출력층의 비선형 활성함수로서 시그 모이드함수를 적용하여 결정영역이 통상의 직선이 아닌 완만한 곡선으로 경계가 형성되도록 하여 은닉층을 학습하도록 하는 역전파 학습 알고리즘을 수행하도록 하였다.
대상 데이터
- 본 연구에서 사용된 SAT 검사 시스템은 히타치사의 장비로서 3축 스캐너를 포함하고 있으며, 초음파변환기(Ultrasonic Transducer)는 25MHz를 사용하였다. 초음파의 송 - 수신 유닛들로부터 수신된 초음파 신호는 SAT에 내재된 소프트웨어에 의해서 화상으로 변환된다.
- 전처리 과정들을 통하여 역전파 신경망에 입력되는 입력벡터를 그림12와 그림13에 나타내었으며, 그림12에서의 입력정보는 22,500개로서 데이터의 내용은 0과 1의 정보로 구성되어 반도체 평가용 소프트웨어의 실행시간을 절감할 수 있고, Fig.13에서의 입력정보는 자기 조직화 지도를 구성하는 결합강도의 개수로서 10X10개의 데이터를 갖으며, 내용은 0부터 1사이의 수치이다.
이론/모형
- 본 연구에서 역전파 신경망에 입력벡터로 사용하기 위한 화상 정보의 단순화 처리 과정으로서 자기조직화지도(Self-organizing map) 를 적용하였다.
- 본 연구에서는 윤곽선 추출에 의한 화상정보가 역전파신경망에 입력되는 입력벡터로 사용되었으며, 윤곽선 검출은 4-이웃화소 방법을 적용하였다. 좌표가 각각 Uy), (&「)인 화소p, q 사이의 유클리 디언 거리는 다음과 같이 정의된다.
- 대상으로부터 화상을 취득하는 과정은 화상신호의 표본화, 정량화, 통신 등의 여러가지 단계를 거쳐서 수행된다. 이러한 과정을 통과하면서 포함된 잡음신호를 제거하기 위하여 공간영역 필터의 한가지인 인근평균방법을 적용하였다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.