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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에타맥스 |
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연구책임자 | 정현돈 |
참여연구자 | 한봉석 , 김종석 , 이동선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-08 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006577 |
과제고유번호 | 1415157072 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 마이크로엘이디.마이크로엘이디 디스플레이.포토루미네선스 강도 측정 장치.마이크로엘이디 외관검사장치.기판 결함 측정. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
◆ 고속 PL intensity mapping 장치 개발
- Wafer/Micro LED Array 검사용
- 시간당 4인치 6매이상 (5μm x 5μm step 간격)
◆ Micro LED검사용 AOI장치 개발
- 크기 3μm defect검출 가능, defect/micro-crack/chipping 분석
- 시간당 4인치 10매 이상
◆ PL intensity mapping + AOI장치 구현
- 불량 검출 정확도 99% 이상
◆ Micro LE
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