최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.8 = no.137, 2002년, pp.34 - 37
초록이 없습니다.
SEMATECH Technology Transfer 95062847A-ENG
SEMATECH Technology Transfer 97023244A-ENG
S. Raoux et al., 'Remote Microwave Plasma Source for Cleaning Chemical Vapor Deposition Chambers: Technology for Reducing Global Warming Gas Emissions,' J. Vac. Sci. Technol. B 17(2), pp. 477-485
Yong-Ho Kim, Sang Hee Hong, Min Suk Cha, Young-Hoon Song, Seock-Joon Kim, 'Measurements of Electron Energy by Emission Spectroscopty in Pulsed Corona and Dielectric Barrier Discharge, Proceedings of The 3rd Int'l Symposium on Nonthermal Plasma Technology for Pollution control,' Cheju, Korea, April, 23-27, 2001
Yong C. Hong, Jeong H. Kim, Han S. Uhm, 'Reduction of Perfluorocompound Emissions by Microwave Plasma Torch', Proceedings of the 6th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, Jeju, July 1-4, 2002
T. Yamamoto, et al., 'NF $_3$ Treatment by Ferroelectric Packed-Bed Plasma Reactor, Proceedings of The 2nd Int'l Symposium on Non-thermal Plasma Technology for Pollution control,' Salvador, Brazil, August, 11-15, 1997
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.