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[국내논문] 상압 플라즈마를 이용한 반도체 공정에서의 배출가스 처리기술
Atmospheric Pressure Plasma Applications to Treat Off-Gases from Semiconductor Manufacturing 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.8 = no.137, 2002년, pp.34 - 37  

송영훈 (한국기계연구원 환경기계기술연구부) ,  김용진 (한국기계연구원 환경기계기술연구부)

초록이 없습니다.

주제어

#배가스 처리   #과불화합물   #휘발성 유기화합물   #상압 플라즈마  

참고문헌 (6)

  1. SEMATECH Technology Transfer 95062847A-ENG 

  2. SEMATECH Technology Transfer 97023244A-ENG 

  3. S. Raoux et al., 'Remote Microwave Plasma Source for Cleaning Chemical Vapor Deposition Chambers: Technology for Reducing Global Warming Gas Emissions,' J. Vac. Sci. Technol. B 17(2), pp. 477-485 

    상세보기 crossref

  4. Yong-Ho Kim, Sang Hee Hong, Min Suk Cha, Young-Hoon Song, Seock-Joon Kim, 'Measurements of Electron Energy by Emission Spectroscopty in Pulsed Corona and Dielectric Barrier Discharge, Proceedings of The 3rd Int'l Symposium on Nonthermal Plasma Technology for Pollution control,' Cheju, Korea, April, 23-27, 2001 

  5. Yong C. Hong, Jeong H. Kim, Han S. Uhm, 'Reduction of Perfluorocompound Emissions by Microwave Plasma Torch', Proceedings of the 6th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, Jeju, July 1-4, 2002 

  6. T. Yamamoto, et al., 'NF $_3$ Treatment by Ferroelectric Packed-Bed Plasma Reactor, Proceedings of The 2nd Int'l Symposium on Non-thermal Plasma Technology for Pollution control,' Salvador, Brazil, August, 11-15, 1997 

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