[논문]원자현미경에 의한 나노측정

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박상일 (PSIA)

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4) 측정 가능한 부위에서도 탐침의 모양새에 의한 왜 곡현 상(convolution effect) 때문에 측정오차가 생긴다. 이외에 조작의 용이성에도 개선의 여지가 많다고 할 수 있으나 이는 시간에 따라 점진적으로 개선되고 있으므로 여기에는 논외로 하고 위에 열거한 1)~4)에 대한 개선책을 살펴보기로 한다.

2) 일반적으로 원자현미경 에 사용되는 구동기 (scanner)는 그림 3에서와 같은 원통형 압전 세라믹 (piezoelectric ceramic)을 사용하는더L 압전세라믹 자체의 비선형성, 이력현상(hysteresis) 등에 의해 오차가 생기며, 튜브의 비틀림에 의존하여 스캔하기 때문에 x-y-z축 움직임의 직교성과 독립성이 떨어진다. 3) 탐침이 유한한 크기를 가지고 있어 좁고 깊은 계곡과 같이 경사가 심한 부위의 측정이 불가능하거 나 어렵다. 4) 측정 가능한 부위에서도 탐침의 모양새에 의한 왜 곡현 상(convolution effect) 때문에 측정오차가 생긴다.

원자현미경은 위에서 언급한 바와 같이 다양한 기능과 장점을 가지고 있지만 다음과 같은 몇 가지 문제점도 있다. 1) 탐침이 기계적으로 시료표면을 따라가야 하므로 광학현미경이나 전자현미경에 비해 영상을 얻는 속도가 느 리다. 2) 일반적으로 원자현미경 에 사용되는 구동기 (scanner)는 그림 3에서와 같은 원통형 압전 세라믹 (piezoelectric ceramic)을 사용하는더L 압전세라믹 자체의 비선형성, 이력현상(hysteresis) 등에 의해 오차가 생기며, 튜브의 비틀림에 의존하여 스캔하기 때문에 x-y-z축 움직임의 직교성과 독립성이 떨어진다.
1) 탐침이 기계적으로 시료표면을 따라가야 하므로 광학현미경이나 전자현미경에 비해 영상을 얻는 속도가 느 리다. 2) 일반적으로 원자현미경 에 사용되는 구동기 (scanner)는 그림 3에서와 같은 원통형 압전 세라믹 (piezoelectric ceramic)을 사용하는더L 압전세라믹 자체의 비선형성, 이력현상(hysteresis) 등에 의해 오차가 생기며, 튜브의 비틀림에 의존하여 스캔하기 때문에 x-y-z축 움직임의 직교성과 독립성이 떨어진다. 3) 탐침이 유한한 크기를 가지고 있어 좁고 깊은 계곡과 같이 경사가 심한 부위의 측정이 불가능하거 나 어렵다.

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