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[국내논문] 정밀측정 원자현미경을 이용한 나노구조체의 각도측정 방법 및 조건
AFM Angle Measurement Methods and Conditions 원문보기

한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집, 2011 June 01, 2011년, pp.1085 - 1086  

조상준 ((주) 파크시스템스) ,  안병운 ((주) 파크시스템스) ,  김준휘 ((주) 파크시스템스) ,  박상일 ((주) 파크시스템스)

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  • 원자현미경 팁과 표면간의 각도측정을 위한 조건들을 분석하여 이를 바탕으로 각도 측정에 대한 실험을 진행하여 분석하였다. 아직까지 원자현미경기술이 연구실 수준에서는 빠르게 발전하고 있지만 실제 산업계에서의 응용수준은 미비한 수준이다.
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