[논문]ER 유체를 이용한 미세3차원 행상의 초정밀연마

김욱배; 이상조; 김용준; 이응숙

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ER 유체를 이용한 미세3차원 행상의 초정밀연마
Ultraprecision Polishing Technique for Micro 3-Dimensional Structures using ER Fluids 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.12 = no.141, 2002년, pp.134 - 141

김욱배 (연세대학교 대학원) , 이상조 (연세대학교 기계공학부) , 김용준 (연세대학교 기계공학부) , 이응숙 (한국기계연구원 정밀가공그룹)

Abstract ▼ AI-Helper

The ER fluid can be one of efficient materials in ultraprecision polishing for optics, ceramics and semiconductors because of electrically controllable apparent viscosity. To finish small 3 dimensional structures such as the aspherical surface in optical elements, the possible arrangement of a tool, workpiece and auxiliary electrode is described. We examined the influence of the addition of a few abrasive particles on the performance of the ER fluid by measuring yield stress, and observed the behavior of abrasive particles in the ER fluid by a CCD camera, which is also theoretically predicted from the electromechanical principles of particles. On the basis of the above results, the steady flow analysis around the rotating micro tool is worked out considering the non-uniform electric field. Finally, Pyrex glass is polished using the mixture of the ER fluid and abrasive particles, and the effect of the electric field strength is evaluated.

주제어

참고문헌 (7)

J.Suzuki, T.Uematsu, T.Kurobe, N.Yasunaga, Electrophoresis-Polishing with A Partial Electrode Tool, 2nd Conference on Advance in Abrasive Technology, pp. 48-52, 1997
N.Umehara, K.Kato, S.Mizuguchi, S.Nakamura, 'Micro Surface Polishing Using Magnetic Fluid in Local Area,' J. of JSPE, Vol. 60, No. 11, pp. 1606-1610, 1994
W.I.Kordonski, S.D.Jacobs, 'Mangetorheological Finishing,' Proceedings of 5th International Conference on ER Fluids and MR suspensions, pp. 1-12, 1995
T.Kuriyagawa, K.Syoji, 'Development of ER fluid assisted machining for 3-D small parts,' J. of JSPE, Vol. 65, No. 1, pp. 145-149, 1999
T.B.Jones, Electromechanics of particles, Cambridge university press, pp. 181-216, 1995
M.Parthasarathy, D.Klingenberg, 'Electrorheology : mechanisms and models,' Materials Science and Engineering, R17, pp. 57-103, 1996

상세보기
R.J.Atkin, S.Xiao, W.A.Bullough, 'Effect of non-uniform field distribution on steady flows of an electro-rheological fluid,' Journal of Non-Newtonian Fluid Mechanics, Vol. 86, pp. 119-132, 1999

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저자의 다른 논문 :

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