최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.1 no.1, 2002년, pp.35 - 40
한장식 (LG전자 생산기술원) , 안강호 (한양대학교 기계공학과) , 김곤호 (한양대학교 과학기술부 응용물리학)
Understanding of charging properties of a small particle is necessary to control the particle contamination and to improve productivity of the electronic device in the plasma aided semiconductor manufacturing processes. In this study, the effects of both magnetic field and particle size on the charg...
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.