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4.3 μm 파장 Optical Band-Pass Filter의 제작과 CO2 감도 특성
Fabrication and CO2-sensing Characteristics of Optical Band-Pass Filter for 4.3 CO2 Wavelength 원문보기

한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.39 no.2 = no.237, 2002년, pp.210 - 215  

이상훈 (부산대학교 무기재료공학과) ,  김수현 (부산대학교 무기재료공학과) ,  김광호 (부산대학교 무기재료공학과)

초록
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본 연구에서는 $CO_2$ 흡수단이 있는 4.3${\mu}m$ 파장대역의 광학 필터를 전자빔 증발 장치를 이용하여 Ge와 $SiO_2$ 박막을 다층으로 설계, 제작하였다. 제작된 Ge/$SiO_2$ 다층박막 필터는 기준파장에 대하여 반가폭(FWHM) 204nm, 투과율 58.2%, 금지대역에 대하여 5% 이하의 차단특성을 나타내는 협대역 투과필터 (narrow band-pass filter: BPF)특성을 나타내었다. 광학적 대역투과필터를 사용하여, FT-IR내에 감지실을 설치하여 단식 필터(KBr+BPF)와 복식필터(BPF+BPF)의 $CO_2$ 농도별 감도특성을 비교측정 하였다. 측정시 $CO_2$의 농도는 500ppm을 단위로 500∼5000ppm의 범위까지 관찰하였는데, 복식 필터는 단식 필터에 비해 투과율이 낮았지만, 우수한 감도 특성을 보였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Optical Band-pass Filter(BPF) for the selected wavelength of 4300 nm was designed and fabricated on Si wager by alternately depositing Ge and $SiO_2$ thin layers by an electron beam evaporation technique. The fabricated BPF showed the optical transmittance characteristics of 58.2% with FW...

주제어

참고문헌 (27)

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