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NTIS 바로가기센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.12 no.5, 2003년, pp.199 - 204
김재민 (동서대학교 정보시스템공학부) , 정귀상 (동서대학교 정보시스템공학부)
This paper describes on the fabrication and characteristics of a ceramic thin-film pressure sensor based on Ta-N strain-gauges for harsh environment applications. The Ta-N thin-film strain-gauges are sputter-deposited onto a micromachined Si diaphragms with buried cavity for overpressure protectors....
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