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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.2, 2003년, pp.25 - 30
손성완 (알엠에스 테크놀로지 주식회사) , 이홍기 (알엠에스 테크놀로지 주식회사) , 백재호 (알엠에스 테크놀로지 주식회사)
In the case of a vibration sensitive equipment, it require a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection device, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved Giga Class semi condu...
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