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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.4, 2003년, pp.13 - 17
설용태 (호서대학교 전기정보통신제어공학부) , 이의용 (호서대학교 전기정보통신제어공학부) , 박성진 (호서대학교 전기정보통신제어공학부)
An adaptor is designed for chamber impedance measurement of plasma process. Copper rod, fixed board and compensation circuit are the major components of the adaptor. An adaptor can be to measure chamber impedance on time unless stopping a process and Data to measure can do the database. We can use i...
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