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문제 정의
- 또한 RF 정합기의 지시창 부재로 RF 정합기 및 공정조건의 실시간 파악이 어렵다는 단점이 있다. 따라서 본 논문에서는 멀티 프리셋(multi-prese)t, 이득조절 등의 다양한 부가 기능을 갖는 디지털 방식의 제어 단을 개발하여 RF 정합기 성능을 개선하였고, LCD 모듈의 부착으로 정합기 및 장비의 공정 상태의 파악이 가능하도록 하였다.
- 본 연구에서는 현재 반도체 소자제조를 위한 플라즈마식각공정에서 주로 이용되고 있는 RF 정합기의 성능개선을 위한 새로운 정합기를 설계 제작하였다. 백러쉬에 기인한 정합소자의 떨림 현상과 기어의 탈조 현상들을 기어를 웜기어로 교체하는 등 기구부를 재설계하여 제거할 수 있었다.
- 구동 효율을 개선 시켜야 한다. 싱기의 문제점의 개선을 위하여 본 논문에서는 베벨기어에서 웜기어로 대체 제작하여 실험을 하였다. 베벨기어는 기어의 복잡함과 감속기 사용으로 인한 효율의 저하 및 기어의 구조적인 특성으로 인한 백러쉬의 발생으로 인한 반사 전력 발생 등의 문제점을 가지고 있다.
- 과도현상 발생 등의 문제점이 있다. 이를 해결하기 위해서 본 연구에서는 고전력을 견딜 수 있는 부품의 개발과 최소의 손실을 갖는 정합소자(가변 인덕터, 캐패시터)의 구조변화를 통한 임피던스 조정범위 확대, 모터 제어 프로그램을 통한 정밀도 및 응답속도 향상, 기어의 최적설계(베벨기어에서 웜기어로 구조 설겨])를 통한 백러쉬 및 경년변화에 대응, 고용량의 원칩 마이크로프로세서를 사용하여 다양한 공정변수에 대한 능동적인 대처와 AD/DA 컨버터 소자의 성능 개선을 통한 모터의 흐름 현상을 제거 등 정합기의 성능개선을 위한 기법을 제시 하였다.
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