[논문]EPMA 분석법

EPMA 분석법
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EPMA가 갖는 기본성능을 요약하고자 한다,
비점수차 coiLe 시료 상에 조사되어지는 전자선이 전원에 고정되도록 하기 위한 것이다.
또한 SEM에 에너지분산분광기 (Energy Dispersive Spectrum X-Ray: EDS X-Ray)나 간이 WDX을 부착하면 정밀한 정량분석은 어려우나 대략적인 분석을 할 수 있기 때문에 시료에 대한 개략을 파악할 수 있다. 여기서는 최근 수년 동안 크게 그 분석기능이 발전된 최신의 EPMA 분석에 대해서 개요와 그의 기능을 소개하고자 한다.
이상, 최근의 고성능 EPMA에 대해서 개요를 소개하였다. 고성능 EPMA는 감도, 기능, 분해능, 속도, 조작성 둥 모든 면에서 종래의 EPMA와는 달리 신뢰성 높은 data를 간단하게, 고속도로 얻어지게 되었다.

4개의 분광결정을 갖고 전 원소의 정성분석을 해서, 검출 peak에 대해 compute:가 자동 검색해서 원소를 판정한다. 존재를 확인한 원소에 대해서는 존재량에 따라서 class 분리를 함과 동시에 standardless 정량분석을 하여 함유량을 산출한다. 분석에 소요되는 시간은 약 建이다.

SEM상 관찰과 같은 시야게서의 특성 X선상의 촬영은 가장 일반적으로 행해지는 분석의 하나이다. 파단의 기점에 Ti-Mn의 산화물 존재가 확인되어 , 탈산재로써 첨가한 것이 남아 파단의 원인이 된 것을 알 수 있었다.

한편 SEM/ ED* 대충 예측되는 시료에 대해서 확인이나 선별을 하는 일에는 위력을 발휘하여 주로 routiiiAwork에서 많이 사용되고 있다. 어째든, 재료기술, 제품개발의 발달과 같이 무엇이 얼마만큼 있는가(정성, 정량)를 추구하는 조성분석부터 그것이 어디에 어떠한 형태인가(국소분석, 구조해석)를 해명중)는 EPMA는 금후 불가결한 분석기기로써 보급해 갈 것으로 예상된다.

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