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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.3 = no.156, 2004년, pp.66 - 73
신동헌 (서울시립대학교 기계정보공학과) , 정규식 (서울시립대학교 기계정보공학과) , 윤정용 (서울시립대학교 기계정보공학과)
This paper presents wafer motion modeling of transfer unit in clean tube system, which was developed as a means for transferring the air-floated wafers inside the closed tube filled with the super clean airs. When the wafer is transferred in x direction with an initial velocity the motion along x di...
Paivanas, J. A. and Hanssam. J. K., 'Air Film system for Handing Semiconductor Wafers', IBM Journal research and development, Vol. 23, pp. 361-375, 1979
Masayuki Toda, M. Shishido, Y. Kanno, M. Umeda, T. Nitta and T. Ohmi, 'Wafer Transportation through a Tunnel filled Whit Nitrogen Gas', ICCCS, pp. 173-183, 1992
Masayuki Toda, Tadahiro Ohmi, Takahisa Nitta, Yoshio Saito, Yoh-ichi Kanno, Masaru Umeda, Michio Yagai and Hajime Kidokoro, 'N2 Tunnel Wafer Transport System', Journal of the IES(Institute of Environmental Sciences), pp. 493-498, 1997
Tadahiro Ohmi, 1989, 'Future Trands and Application of Ultra Clean Technology', Technical Digest, international Electron Device Meeting, Washington,D.C., pp. 49-52
Okano, M. and Togo. S., 'Static Performance of Externally Pressurized Porous Gas Bearings', Junkatsu, Vol. 20, pp. 53-60, 1975
Singiresu S. RAO, MECANICAL VIBRATI ONS, Third ed., Addison-Wesley, pp. 105,128-146, 1995
Paivanas, J. A. and Hanssam. J. K., U.S. Patent 4,081,201., 1978
Masayuki Toda, Tadahiro Ohmi, Takahisa Nitta, Yoshio Saito, Yoh-ichi Kanno, Masaru Umeda, Michio Yagai and Hajime Kidokoro, U.S. Patent 5,921,174, 1999
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